半導(dǎo)體制造業(yè)的環(huán)境污染與清潔生產(chǎn)
| 論文類型 | 綜述 | 發(fā)表日期 | 2000-08-01 |
| 來源 | 環(huán)境保護(hù) | ||
| 作者 | 余剛 | ||
| 關(guān)鍵詞 | 半導(dǎo)體制造業(yè) 清潔生產(chǎn) 環(huán)境污染 | ||
| 摘要 | 在分析半導(dǎo)體制造過程中不同工藝產(chǎn)生的環(huán)境污染問題的基礎(chǔ)上, 討論了半導(dǎo)體制造業(yè)開展清潔生產(chǎn)的原則和途徑,介紹了一些成功的清潔生產(chǎn)方案。 | ||
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